用于半导体晶圆边缘倒角加工的专用超硬砂轮,通过对晶圆边缘进行圆弧、斜面等轮廓磨削,解决晶圆边缘易崩裂、应力集中等问题,提升品圆的机械稳定性与后续加工适配性。
采用专用树脂结合剂与细粒度金刚石磨料,磨削力柔和,可避免划伤、粘屑与变形,粗糙度 Ra≤10nm,可定制规格,适配各类锗片加工,广泛应用于国防军工、航空航天领域。
随着蓝宝石衬底在先进封装的应用,对衬底的表面质量、总厚度偏差(TTV)、翘曲要求越来越高,进而对减薄砂轮的要求也越来越高。