应用场景
适配粗磨、精磨全工序，粒度涵盖 2000#、8000#、30000#，粗磨 Ra<15nm，精磨 Ra<2nm 可直接精抛，降低成本 40%，适配主流设备。
型号规格
6A2T
规格 | D | T | H | X | W | 结合剂 | 粒度 |
6A2T | 209 254 313 | 30 | 95 155 158 237 | 57 | 2 3 4.5 4 | ML V | 2000 8000 30000 |
磨削工件 | SiC 片 粗磨 | SiC 片 精磨 | SiC 片 粗磨 | SiC 片 精磨 |
工件尺寸 | 6 英寸 | 8 英寸 | ||
砂轮规格 | D313 (12 寸) V 2000 | D313 (12 寸) V 30000 | D313 (12 寸) V 2000 | D313 (12 寸) V 30000 |
磨耗比 (砂轮：工件) | 1:6 | 1:1.8 | 1:4 | 1:1.4 |
粗糙度 | - | 中心 1nm边缘 2nm | - | 中心 1nm边缘 2nm |
TTV | - | < 3μm | - | < 4μm |
